Sebastiao Gomes dos Santos Filho.

cooperação acadêmica entre o CEETEPS e a USP-EPUSP-LSI para a realização do segundo ano do projeto que envolve a pesquisa, o desenvolvimento e o aprimoramento dos conteúdos programáticos de disciplinas e a formulação de conjuntos didáticos relacionados com os respectivos cursos superiores de Tecnologia em Microeletrônica ministrado pela FATEC-SP e de tecnologia em Eletrônica Automotiva ministrado pela FATEC-Santo André, e o prosseguimento da utilização pelos alunos do CEETEPS das Salas Limpas do Laboratório de Sistemas Integráveis (LSI-EPUSP) e dos demais laboratórios das Engenharias Eletrônicas da USP-EPUSP, em conformidade com o aditamento ao plano de trabalho.

O INCT NAMITEC é uma rede ampla de colaboração que objetiva pesquisa, desenvolvimento, inovação, formação de recursos humanos e divulgação de ciência no tema de Micro e Nanofabricação para as tecnologias habilitadoras, incluindo Inteligência Artificial, Internet das Coisas, Materiais Avançados, Biotecnologia e Nanotecnologia. Essa rede foi construída e fortalecida com o apoio de projetos INCT anteriores que tiveram aportes financeiro de 2001 a 2016. Posteriormente, no último edital INCT, a rede NAMITEC foi contemplada com o selo de excelência INCT. O projeto atual tem o foco em materiais, processos, novos dispositivos semicondutores ecircuitos de interface e aplicações de IoT, entre outras. Inclui-se aplicações para o controle ambiental, qualidade do solo, de águas, do ar, detecção de gases, biomedicina e agropecuária, temas que estão na vanguarda da evolução tecnológica mundial e são cruciais para a inovação em vários setores da economia. Os dispositivos e sensores a serem pesquisados e desenvolvidos incluem FinFET, BioFET, ISFET, FET de grafeno, QuBit e fotônica integrada, incluindo dispositivos de carbeto de silício, necessários para a indústria automobilística, e novas células solares TANDEN com eficiência superior. A proposta inclui uma considerável interação com o setor industrial, como empresas de encapsulamento eletrônico (SMART, HTMicron), design house (Chipus, von Braun), fotovoltaica (BYD), equipamentos derede elétrica (Treetech), tratamento de águas e efluentes (Digimed), pecuária (Embrapa), equipamentos s (Toth,Novetech), entre outras. Inclui também uma forte colaboração internacional com centros avançados como IMEC, CEA/LETI e NXP Semiconductors, entre vários outros, totalizando 37 colaboradores do exterior. O INCT NAMITEC contribuirá significativamente para o desenvolvimento do setor industrial de tecnologia avançada, tornando o país mais competitivo, independente e avançado.Associados: CTI, FEI, Toth Tecnologia, UEM, UFBA, UFCG, UFPB, UFPEL, UFPR, UFRGS/DEE, UFRGS/IF, UFRGS/IQ, UFRN, UFS, UFSC, UNESP, UNICAMP/FEEC, UNICAMP/IFGW, UNICAMP/CCSNano, UNICAMP/FEQ, UNIPAMPA, UNISINOS, USP/EP.

O projeto destina-se aos pacientes com o quadro clínico inicial da doença infeciosa causada pelo Coronavírus (SARS-CoV-2), ou simplesmente COVID-19 (Coronavirus Disease 2019) e tem como escopo a fabricação de máscaras de baixo custo com dupla camada polipropileno flexível como barreira facial obtida por processo de moldagem. No corpo da barreira facial foi instalado um acesso de entrada para a passagem de ar (1l/min ? 30l/min) filtrado ou para nebulização de soro fisiológico com ou sem fluidos medicamentosos. O objetivo é o de facilitar a respiração ou promover inalação controlada pelo paciente. Através do controle da corrente elétrica aplicado em elemento resistivo instalado junto com válvula de expiração de saída, a temperatura do fluxo expirado pelo paciente será controlada na faixa de 25oC a 40oC a fim de impedir a propagação do vírus COVID-19 através de secreções, gotículas e saliva para o meio exterior e, também, na válvula de saída foi instalado um filtro respiratório para não permitir a saída de aerossóis. Além do controle do ar expelido, foram testados opções de filtros nanoestruturados capazes de matar o vírus COVID-19.

O desenvolvimento de células solares de baixo custo e alta eficiência terá grande aplicação como fonte de energia distribuída, principalmente para fornecimento de energia em lugares isolados e distantes da rede elétrica com as vantagens de não consumir combustível fóssil, não produzir poluição nem contaminação ambiental, ter longa vida útil, ser resistente às condições climáticas extremas, não ter peças móveis exigindo pouca manutenção e por permitir o aumento da potência instalada por meio da incorporação de módulos adicionais. Para isso, a tecnologia de células solares deve sobressair-se em três áreas principais: redução do custo, aumento da eficiência e durabilidade. Neste contexto as células solares do tipo MOS vêm recebendo atenção devido à simplicidade de montagem e seus baixos custos. O presente projeto visa à fabricação, otimização e caracterização de células solares tipo MOS empregando uma estrutura alternativa do tipo Al/TiO2/SiO2/Si. Para isso serão realizados os estudos teóricos e experimentais sobre as estruturas Al/TiO2/SiO2 em substratos de silício com áreas extensas (4cm x 4cm), já próximas das dimensões comerciais e, também, serão fabricados protótipos de células solares tipo MOS as quais serão caracterizadas quanto a sua eficiência utilizando equipamento de medida CxV e IxV e simulador solar comercial. As etapas de desenvolvimento incluem o levantamento dos parâmetros fotovoltaicos (corrente de fundo, corrente de curto circuito, tensão em circuito aberto, fator de preenchimento e eficiência) para diversas condições de geometria e processamento visando à otimização e obtenção das melhores condições de fabricação de células solares tipo MOS com área de até 80cm2 sobre lâminas de silício de 4 polegadas de diâmetro.

Este projeto visa a fabricação e caracterização de células solares tipo MOS de alta eficiência empregando Processamento Térmico Rápido (RTP) do silício. Inicialmente, serão realizados estudos preliminares sobre o crescimento de filmes de óxido e oxinitreto de silício por processamento térmico rápido em substratos de silício circulares e quadrados com áreas extensas de até 80cm2, próximas das dimensões comerciais. Na seqüência, serão fabricadas células solares tipo MOS as quais serão caracterizadas quanto a sua eficiência utilizando equipamentos de medida CxV e IxV e simulador solar comercial.
 A estratégia de ação terá como foco a fabricação de células solares de alta eficiência através de atividades coordenadas num periodo de 2 anos de forma a incluir revisão bibliográfica, estudo do crescimento de filmes de óxidos e nitretos de silício utilizando a técnica de processamento térmico rápido, e caracterização elétrica das células solares com a ajuda de simulador solar comercial. Os resultados e impactos esperados são: (i) fabricação de protótipo de célula solar de alta eficiência em substratos de áreas extensas de até 80cm2; (ii) processos térmicos rápidos de baixo custo para obtenção de células solares de alto desempenho; (iii) formação de recursos humanos (2 dissertações de mestrado) na área de células solares do tipo MOS; (iv) incremento da capacidade laboratorial do Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos da Escola Politécnica da USP (PSI/EPUSP) visando produção de prótipos de células solares de alta eficiência e (v) publicação de 2 artigos completos em revista periódicas internacionais.

Este projeto visa a fabricação e caracterização de sensores de hidrogênio empregando ligas nanoestruturadas obtidas por co-sputtering ou deposição eletroquímica de Pd e Cu. Inicialmente, serão realizados estudos preliminares sobre o crescimento de filmes de Pd e ligas nanoestruturadas Pd-Cu por co-sputtering ou por processo eletroquímico utilizando aditivos para promoção de molhabilidade e ativação de superfícies de silício. Na seqüência, serão fabricados quimioresistores de Pd e de ligas Pd-Cu os quais serão caracterizados quanto a sua sensibilidade ao hidrogênio em concentrações na faixa de 10 a 10000 ppm.
 A estratégia de ação terá como foco a fabricação de quimioresistores de Pd ou de ligas nanoestruturadas Pd-Cu através de atividades coordenadas num periodo de 2 anos de forma a incluir revisão bibliográfica, estudo do crescimento de filmes de paládio e de ligas nanoestruturadas Pd-Cu otidas por co-sputtering ou depositados eletroquimicamente, e caracterização elétrica dos quimioresistores para detecção de hidrogênio. Os resultados e impactos esperados são: (i) fabricação de protótipo de quimioresistor para detecção de hidrogênio; (ii) processos de baixo custo para obtenção de ligas nanoestruturadas; (iii) formação de recursos humanos (2 dissertaçôes de mestrado); (iv) publicação de 2 artigos completos em revista periódicas internacionais e (v) depósito de patente sobre quimioresistor para detecção de hidrogênio.

Os especialistas estimam que o mercado mundial de sensores deverá atingir 61,5 bilhões de dólares pelo ano de 2010 sendo que mercado de sensores químicos recente no ano de 2007 é de cerca de 11,5 bilhões de dólares e representa o maior segmento do mercado mundial de sensores. Os tipos mais comuns são os sensores destinados à detecção oxigênio, NOx, poluição ambiental, hidrocarbonetos, condicionamento de óleo e de material particulado. Portanto, a diversidade das aplicações desse tipo de sensor oferece o crédito necessário para maiores investimentos em seu desenvolvimento tecnológico e de aplicação.

No presente projeto vamos desenvolver e fabricar sensores químicos para monitorar a qualidade do óleo isolante mineral utilizado em buchas e transformadores de alta tensão. A seqüência de eventos associada à degradação do funcionamento de tranformadores de alta tensão corresponde à deterioração da característica dielétrica do óleo mineral desencadeada pelo aparecimento de gases dissolvidos começando pelo hidrogênio (H2) em temperatura a partir de 250oC seguido pelo aparecimento de monóxido de carbono, (CO), metano (CH4), etano (C2H6), etileno (C2H4) e, finalmente, culminando no aparecimento de acetileno (C2H2) durante a iminência da falha fatal em temperaturas a partir 1000oC. Especificamente, no projeto em apreço, serão fabricados sensores para monitorar o processo de falha desde o estágio inicial até a iminência da falha fatal através da detecção de hidrogênio, acetileno e hidrocarbonetos/monóxido de carbono (C2H6, C2H4 e CO) conforme especificado pela empresa Treetech. O desenvolvimento desse conjunto de sensores representa um grande desafio no âmbito do presente projeto tendo em vista que não existe monitoramento in-situ local de todos os possíveis gases em óleo mineral. Quando se quer um laudo dos gases mencionados, é sempre necessário recolher amostras para realizar análises, na maioria das vezes onerosas, baseadas em cromatografia gasosa.

. INCT NAMITEC Instituto Nacional de Ciência e Tecnologia de Sistemas Micro e Nanoeletrônicos Programa de Institutos Nacionais de Ciência e Tecnologia do MCT: CNPq processo no. 573738/2008-4, Período: 2009 a 2014 e FAPESP processo no. 2008/57862-6 Período: 2009 a 2014. Coordenador Geral: Jacobus W. Swart. Coordenador Local: Sebastião Gomes dos Santos Filho. Trata-se de um projeto em rede temática que reúne 22 instituições ao redor do País.

Este projeto tem como finalidade o projeto, fabricação e caracterização elétrica de transistores construídos em lâminas de silício sobre isolante SOI (Silicon-On-Insulator) de múltiplas portas, de canal vertical, chamado de FinFET. Os FinFETs são as estruturas mais promissoras para as próximas gerações da tecnologia de fabricação de circuitos integrados CMOS.
	Para atingir estes objetivos está sendo proposta uma rede temática composta pela Escola Politécnica da USP (São Paulo), Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação da UNICAMP (Campinas) e pelo Centro Universitário da FEI (São Bernardo do Campo). As etapas de projeto e fabricação estarão a cargo da USP e UNICAMP enquanto a etapa de caracterização elétrica terá também a participação da FEI. 
Os novos FinFETs a serem projetados e fabricados no Brasil (USP/UNICAMP) neste projeto têm como base a versão desenvolvida no projeto NAMITEC (CNPq - Instituto do Milênio - processo n. 420031/2005-7). Na etapa de caracterização elétrica serão utilizados tanto os dispositivos FinFETs fabricados no IMEC (Interuniversity Microelectronics Center, Leuven, Bélgica) como os fabricados na USP/UNICAMP.
Serão analisados, tanto os resultados obtidos experimentalmente como os por simulação tridimensional, os principais parâmetros elétricos dos FinFETs para aplicações em circuitos digitais e analógicos, tais como tensão de limiar, inclinação de sublimiar, transcondutância, relação transcondutância-corrente de dreno, tensão de Early e ganho de tensão intrínseco. Estes parâmetros serão estudados não só em temperatura ambiente como também na faixa de 80K a 730K, para aplicação aeroespacial.

Neste projeto vamos desenvolver e fabricar sensores de hidrogênio para monitorar a qualidade do óleo isolante mineral utilizado em buchas e transformadores de alta tensão. A seqüência de eventos associada à degradação do funcionamento de tranformadores de alta tensão corresponde à deterioração da característica dielétrica do óleo mineral desencadeada pelo aparecimento de gases dissolvidos começando pelo hidrogênio (H2) em temperatura a partir de 250oC seguido pelo aparecimento de monóxido de carbono, (CO), metano (CH4), etano (C2H6), etileno (C2H4) e, finalmente, culminando no aparecimento de acetileno (C2H2) durante a iminência da falha fatal em temperaturas a partir 1000oC. Especificamente, serão fabricados sensores para monitorar o processo de falha no estágio inicial através da detecção de hidrogênio. Além disso, vamos aperfeiçoar o monitor on-line de buchas de alta tensão (138kV - 750 kV) já existente para a execução de funções inteligentes de detecção e diagnóstico preditivo de falhas em buchas de transformadores , disjuntores, divisores capacitivos de potencial e em transformadores de corrente. Também, vamos desenvolver hardware e software dedicado com base em recursos de inteligência computacional voltado para detecção e predição de falhas em buchas de transformadores , disjuntores divisores capacitivos de potencial - DCP e transformadores de corrente visando incrementar a eficiência na aplicação dos recursos de manutenção.
Historicamente, as buchas tem sido um dos principais pontos de falha em transformadores de potência, fato revelado por um levantamento internacional do CIGRE com dados de mais de 1000 falhas de transformadores. Essa pesquisa revelou que 12,3% dos desligamentos estavam associados às buchas. Devido aos níveis de tensão envolvidos (de 138kV a 750 kV), alguns tipos de falhas em buchas são potencialmente destrutivas, o que pode redundar num prejuízo na casa de milhões de reais, desligamento de parte do sistema elétrico
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No presente projeto vamos desenvolver e fabricar sensores químicos para monitorar a qualidade do óleo isolante mineral utilizado em buchas e transformadores de alta tensão. A seqüência de eventos associada à degradação do funcionamento de tranformadores de alta tensão corresponde à deterioração da característica dielétrica do óleo mineral desencadeada pelo aparecimento de gases dissolvidos começando pelo hidrogênio (H2) em temperatura a partir de 250oC seguido pelo aparecimento de monóxido de carbono, (CO), metano (CH4), etano (C2H6), etileno (C2H4) e, finalmente, culminando no aparecimento de acetileno (C2H2) durante a iminência da falha fatal em temperaturas a partir 1000oC. Especificamente, no projeto em apreço, serão fabricados sensores para monitorar o processo de falha desde o estágio inicial até a iminência da falha fatal através da detecção de hidrogênio, acetileno e hidrocarbonetos/monóxido de carbono (C2H6, C2H4 e CO). O desenvolvimento desse conjunto de sensores representa um grande desafio no âmbito do presente projeto tendo em vista que não existe monitoramento in-situ local de todos os possíveis gases em óleo mineral. Quando se quer um laudo dos gases mencionados, é sempre necessário recolher amostras para realizar análises, na maioria das vezes onerosas, baseadas em cromatografia gasosa.

	No projeto em apreço, pretendemos ter apoio de um técnico de nível médio e outro de nível superior. O técnico de nível médio irá especificamente apoiar o desenvolvimento de um sensor de gás hidrogênio dissolvido em óleo mineral utilizado em buchas e transformadores elétricos para monitoração do estágio inicial de deterioração do óleo isolante. O técnico de nível superior irá desenvolver uma montagem experimental para dissolução de acetileno em óleo mineral em diversas concentrações na faixa de 10 a 20000 ppm para caracterização da capacidade de detecção de acetileno.

Por outro lado, é importante destacar que está em andamento o projeto "Sistema de monitorament

Projeto: Institutos do Milênio - TECnologias de MIcro e NAnoeletrônica para sistemas integrados inteligentes -NAMITEC.
- Orgão financiador: CNPq
- Coordenador: Prof. Dr. J. W. Swart - UNICAMP.
- Vigência: 11/2005 - 10/2007
- Valor Total: R$ 3.000.000,00
- Descrição: Participam 14 laboratórios de 9 universidades, sendo um deles o LSI-EPUSP. No LSI-EPUSP, o prof.S. G. dos Santos Filho juntamente com o grupo da UNICAMP é responsável pela atividade sobre fabricação e caracterização de nano-fios metálicos para deteção de espécies gasosas, obtenção de dielétricos ultra-finos para portas MOS e construção e caracterização de transistores tipo FinFET. Apoio na especificação e compra de um equipamento FEG-SEM para o LSI-EPUSP.

Projeto: Institutos do Milênio - Rede de Pesquisa em Sistema em Chip, Microssistemas e Nanoeletrônica.
- Orgão financiador: CNPq
- Coordenador: Prof. Dr. J. W. Swart - UNICAMP.
- Vigência: 11/2001 - 10/2005
- Valor Total: R$ 4.378.930,93
- Descrição: Participam 10 laboratórios de 7 universidades, sendo um deles o LSI-EPUSP. No LSI-EPUSP, o Prof. S. G. dos Santos Filho juntamente com o grupo da UNICAMP era responsável pela atividade Interconexões e contatos para CIs, Parte do financiamento foi utilizado para a compra de material de consumo no âmbito desta atividade.

Os objetivos do projeto foram:
a) construção de um protótipo de um sensor de temperatura utilizando liga Cu/constantan;
b) estuddos básicos de eletrodeposição, nucleação, crescimento, rugosidade e desempenho elétrico das camadas Cu/constantan.

Os objetivos do projeto foram:
a) conserto de um equipamento para análise de fluorescência induzida por raios X na condição de reflexão total (TXRF).
b) compra e instalação de um sistema individual de circulação de água para o equipamento TXRF (XSA8000)

Os principais objetivos do projeto foram:
a) Aquisição de um microscópio SPM, NANOSCOPE E, com cabeçote AFM e implementação da técnica no LSI/EPUSP.
b) Aplicação da técnica AFM ao estudo e desenvolvimento do processo de eletrodeposição de filmes finos de Cu, de ni, de Co e de ligas Co e de Ni sobre silício monocristalino.